2X Michelson物镜

名    称：Michelson白光干涉物镜

应    用：

   Michelson白光干涉物镜主要应用于非接触检测表面微纳级别三维形貌，在半导体行业检测芯表

面轮廓或者涂层厚度，工业制造领域表面超光滑粗糙度，微纳台阶高度，MEMS形貌等。

特   点：

  1.大视场，高分辨率，图像清晰

  2.工作距离长

  3.结构紧凑

  4.360度可旋转

参   数：

  1.镜头设计：Michelson干涉结构设计

  2.放大倍数：2X

  3.焦       距：100mm

  4.数值孔径：0.055

  5.工作距离：14mm

  6.齐焦距离：120mm

  7.视场范围：

  a安装于金相显微镜

  （1）附加0.5X镜头视场范围6X4.5mm

  （2）附加1X镜头视场范围3X2.2mm

  b目视观察，目镜10X/23mm

  视场范围φ11.5mm

  8.接口尺寸：M26X0.706

检测效果：（检测案例1）

Michelson物镜

Michelson物镜

Michelson物镜

Michelson物镜

Michelson物镜