仪器型号：
CR-100V白光干涉检测系统
仪器简介
CR-100V白光干涉检测系统（白光干涉仪），由o'star-optical光学干涉技术工作室研发设计。可以非接触检测表面微结构形貌，以及相关的截面以及粗糙度参数。精度高，不会对被测物造成损坏。主要应用于高端制造行业，例如：光电子材料与器件、材料科学表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光学测量、光学加工、精密机械加工，高等学校光学技术及物理光学实验等。
仪器特点：
1.非接触检测
2.纳米级测量精度
3.新型白光干涉物镜，工作距离可达17.7mm
4.可测试最低反射率0.5%的样品
5.300万像素高分辨率
6.软件操作简便，全中文界面，易学易用
技术规格参数
| 型 号 | CR-100V白光干涉检测系统 |
| 光学设计 | 无限远相移白光干涉系统 |
| 物 镜 | 倍数 | 10X | 5X(选购) |
| 光学设计 | 无限远白光干涉 | 无限远白光干涉 |
| 数值孔径 | 0.25 | 0.12 |
| 测量范围 | 0.25*0.25mm | 0.5*0.5mm |
| 光学分辨率 | 2.2um | 5um |
| 工作距离 | 17mm | 23mm |
| 调 焦 | 行程50mm，手动粗微调，微调格值0.002mm。 |
| 工 作 台 | 直径150mm；可360°旋转；带有倾斜调整功能;
X方向行程76mm；Y方向行程50mm |
| 光 源 | 工业级LED白光光源，亮度手动可调，使用寿命不低于10000小时。 |
| 中心波长：580nm |
| 图像采集 | 分辨率：300万像素 |
| 版面：1/2.5英寸 |
| 像素点尺寸：2.2umx2.2um |
| 接口：USB3.0 |
| 纳米驱动器 | 最大位移：80um |
| 分辨率：5nm闭环控制 |
| 重复定位精度：0.1nm |
| 线性度：0.2nm %F.S. |
| 计 算 机 | 操作系统：Win7 64位 |
| CPU:I7四核 |
| 内存：8G |
| 显卡：独立显卡 |
| 显示器：21寸 |
| 电 源 | AC100 --240 V 50-60Hz |
自动图像
采集软件 | 软件是图像采集以及纳米定位功能集成化控制的软件。软件可以根据设定，驱动纳米驱动器做纳米级定位控制，同时对不同位置的干涉条纹进行采集。可设定图像的曝光，像素，增益等参数。定位控制有开环闭环工能可供选择。 |
白光干涉
分析软件 | 基于Matlab使用，操作简单，可以检测台阶类样品的台阶高度，台阶最大高度不大于70um；可以检测到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被检测样品的任何位置的横切或者纵切面轮廓。检测结果可以直接生成报告。直接可以测量的数据有，被选取位置的横向以及纵向的粗糙度XRa，YRa；Sa，RMS，PV,以及视场区域内最大和最小的数据。 |
| 仪器重量 | 20kg |
系统成套性
| 1 | 白光干涉仪主机 1台 | 5 | 电脑 1台 |
| 2 | PZT控制器 1套 | 6 | 软件 1套 |
| 3 | 白光干涉物镜10X 1只 | 7 | 随机文件 1套 |
| 4 | 工作台 1套 |
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