产品型号
    CR-100白光干涉仪
产品简介
    由西安恩科微纳光电科技有限公司研发设计。可以非接触检测表面面型，台阶，划伤等。检测过程不会对被样品表面造成损坏。
应用行业
    主要应用于高端制造行业，例如：光电子材料与器件、材料科学表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光学测量、光学加工、精密机械加工，高等学校光学技术及物理光学实验等。

仪器特点

   1.非接触检测

   2.纳米级测量精度                         

   3.新型白光干涉物镜，工作距离可达17.7mm 

   4.可测试最低反射率0.5%的样品

   5.300万像素高分辨率

   6.可实现大视场三维形貌拼接检测

技术规格参数

   1.光学设计：无限远白光干涉系统

   2.物      镜：倍数/数值孔径/工作距离

                    10X/0.25/6.4mm标准配置

                    5X/0.12/6.4mm（选购）；20X/0.4/3.5mm（选购）
                     10X/0.25/17mm（选购）；5X/0.12/22mm(选购)

   3.放大倍数：100X（标准）

   4.调焦方式：100mm调焦行程，电动或自动对焦。

   5.工作台直径：可360°旋转；带有倾斜调整功能;

                          X方向行程150mm；Y方向行程76mm

   6.光源：工业级LED白光光源，亮度可调，使用寿命不低于10000小时。

   7.中心波长：580nm

   8.图像采集 分辨率：300万像素

   9.压电陶瓷：行程200μm，定位精度1nm

   10.电源 AC100 --240 V 50-60Hz

系统成套性

   1.白光干涉仪主机                1台

   2. PZT控制器                       1套

   3. 白光干涉物镜10X             1只

   4 .工作台                              1套  
   5. 随机文件                            1套