白光干涉光路集成_干涉类仪器_企业产品_西安恩科微纳光电科技有限公司

干涉类仪器

白光干涉光路集成

捕获llll

产品型号:WLI-200

产品特点:

1. 体积小,大视场光学设计

2. 集成了白光干涉成像的所有单元

3. 成像质量高,干涉质量优秀

4. 国产化的干涉物镜

5. 最小可检测反射率0.5%的表面

6. 可方便整合到其它检测模块中

成套参数:

        1. 成像镜管

焦距:200mm

结构:大视场短结构同轴光

2. 物镜

标准配置:10X Mirau干涉物镜

选购:5X Linnik,5X FMirau,5X Mirau,10X Linnik,20X Mirau

       3. 光源:LED白光光源,中心波长580nm

4. 被检样品:表面最低反射率大于0.5%

应用案例:

55

66

14

22


44

26

27

25

WLI200白光干涉光路集成.pdf

WLI200白光干涉光路集成尺寸图


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