产品型号:WLI-200
产品特点:
1. 体积小,大视场光学设计
2. 集成了白光干涉成像的所有单元
3. 成像质量高,干涉质量优秀
4. 国产化的干涉物镜
5. 最小可检测反射率0.5%的表面
6. 可方便整合到其它检测模块中
成套参数:
1. 成像镜管
焦距:200mm
结构:大视场短结构同轴光
2. 物镜
标准配置:10X Mirau干涉物镜
选购:5X Linnik,5X FMirau,5X Mirau,10X Linnik,20X Mirau
3. 光源:LED白光光源,中心波长580nm
4. 被检样品:表面最低反射率大于0.5%
应用案例:
WLI200白光干涉光路集成.pdf
WLI200白光干涉光路集成尺寸图