CRWLI微纳轮廓检测软件介绍
一.软件应用
CRWLI微纳轮廓检测软件,可以配合干涉显微镜,或者其它白光干涉检测仪器使用。是一款通过单张白光干涉条纹图分析出感兴趣位置轮廓截面参数的软件。功能上虽不能检测出表面微观区域的整体面型,但是也能间接帮助研究人员分析表面的轮廓状态。使得用户在微纳级表面轮廓检测仪器的选择方面多了一种更加低成本,性价比高的选择方案。
二.软件说明
该软件是用于表面微纳级轮廓分析检测,将单张的白光干涉条纹图案导入到软件,通过相关操作,最终检测出相关参数,并且可以模拟出表面三维轮廓的状态。
相对于白光干涉仪检测表面三维形貌而言,该软件是可以低成本实现表面单一位置的截面轮廓检测分析的有效方案。
三.软件用途
1.微纳级表面损伤深度检测
2.表面微纳台阶检测
3.多刻线板粗糙度,刻线轮廓及深度检测
4.微纳表面粗糙度检测Ra,Rz,Rp,Rv,PV,Rms。
5.镀膜膜层轮廓检测
6.钢珠表面粗糙度检测
四.软件特点
1.软件特有的算法,使得表面轮廓识别能力更加准确
2.只需要提供白光干涉条纹图片就可以检测表面轮廓相关参数
3.可以检测表面粗糙度参数,微纳台阶及表面损伤深度的多个参数
4.可以将检测的表面轮廓结果模拟成三维形貌,以便于分析
5.可以使用自动或者手动计算0.5λ
6.具有小于10nm的检测精度
7.检测报告以word形式输出
8.可以检测粗糙度Ra小于2um,台阶或者划伤深度不超过4um的样品
五. 检测案例
六.软件著作权