使用微纳轮廓检测系统检测几块研磨抛光后的样块表面粗糙度。

      通常情况下，使用粗糙度仪检测即可，但是在特殊要求下，只能使用非接触方式来检测，微纳轮廓检测系统可以实现对表面研磨抛光过的样品表面粗糙度的检测。被检测的样块标称Ra0.2um，0.1um，0.05um三种。  

      1.Ra0.2um样块检测： 

干涉条纹图

软件检测运行界面

检测报告

      检测结果：Ra标称0.2um研磨抛光样块，粗糙度检测结果Ra=0.1933um。

      2.Ra0.1um样块检测： 

干涉条纹

软件运行界面

检测报告

      检测结果：Ra标称0.1um研磨抛光样块，粗糙度检测结果Ra=0.1074um。

      3.Ra0.05um样块检测： 

干涉条纹

软件运行界面

检测报告

      检测结果：Ra标称0.05um研磨抛光样块，粗糙度检测结果Ra=0.05027um。