高精度光学元件抛光检测

显微镜下观察到的光学元件表面的抛光不彻底痕迹

     光学显微镜下只能检测到二维图像，如果附加测量功能，只能检测划伤的长度以及宽度，不能够检测划伤的深度。

     如果能够真实的检测出表面划伤深度，不但可以预测继续抛光多久才可以将表面完全抛光，而且可以分析得出完全抛光后光学元件的剩余厚度是多少，判断被测元件是否还有修复的可能性。

      在这样的需求下，表面划伤的深度的检测就很有必要。尤其是对单件或者成本高的光学元件加工过程检测来说就显得更加重要。

   在干涉检测仪器下检测

      在使用激光干涉仪检测时，激光干涉仪由于放大倍数小，基本上小于1X,在二维分辨率上不能有效识别表面的细微划伤。只能够适用于表面整体面型精度的检测。如果对于小的光学器件，大口径的干涉仪就不太适用。

      白光干涉仪或者光学轮廓仪，即我们的产品CR_100V_3D这款仪器，适用于表面微观三维形貌的检测，二维分辨率等效于相同倍数的显微镜的分辨率，也就是说表面上在分辨能力范围内的划伤就可以检测到，并且可以检测到划伤的深度。

软件界面

       CR_100V_3D白光干涉分析软件，配套于CR_100V_3D表面形貌分析系统，可以有效的分析出表面的微观形貌。

表面不良位置截面分析

      在本次检测的光学元件中，可以从三维形貌中明显的分析出表面的划伤以及两点位置，通过截面分析出表面不良痕迹的深度。

分析报告

      软件自动生成分析报告，图片可以通过个人选择添加到报告中。目前白光干涉分析软件可以检测微小平面面型精度，台阶类器件的台阶高度，表面粗糙度，以及各类器件的表面微观不良损伤的位置以及相关的检测数据。