O'STAROPT 干涉物镜对深台阶面的检测_白光干涉镜头检测_产品应用案例_西安恩科微纳光电科技有限公司

白光干涉镜头检测

O'STAROPT 干涉物镜对深台阶面的检测

   对产品较深的台阶面高精度三维形貌的检测，Linnik干涉镜头是不错的选择，以O'STAROPT LINNIK 10X干涉物镜为例，具有17mm的工作距离。可以满足17mm深的台阶面的白光干涉检测。
   通常使用Mirau干涉物镜，最大的工作距离只有不到10mm，对于超过工作距离的台阶面，如果不破坏零件将无法检测。
   此次我们使用O'STAROPT LINNIK 10X干涉物镜来检测的两个案例，台阶面的深度均超过15mm。
   案例一：机械加工件外部台阶面的检测
屏幕截图 2024-12-02 110706
箭头所指的位置（亮斑）为检测的台阶面
屏幕截图 2024-12-02 111311
台阶面的干涉条纹图案
   案例二：机械加工件内部台阶面的检测
屏幕截图 2024-12-02 104816
机械加工件内部台阶面的检测
屏幕截图 2024-12-02 105957
台阶面的干涉条纹图案
   西安恩科微纳光电科技有限公司在Linnik，Mirau，Michelson三种类型的干涉物镜方面都有产品，并且各类非标白光干涉光路都具有一定的定制化能力。



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