遇到一个比较特殊的机械加工零件，零件实物如图所示，内侧底部为球面，入口处的直径只有10mm。这样的加工件需要检测内部球面的粗糙度。

  通常遇到球面，也可以使用粗糙度仪检测，但是由于这样的加工件球面位于深孔底部，常规的仪器没办法检测粗糙度。

  使用非接触的白光干涉仪的话，目前市场上的白光干涉仪工作距离都很短，底部的图像不能被观察到，因此不适检测孔底。

  此次使用我们开发的微纳轮廓检测系统，选用10X Linnik干涉物镜，工作距离15mm。可以轻松获取底部的图像。通过CRWLI软件分析计算出球面内部的粗糙度。

被测加工件

被测加工件

使用10X Linnik干涉物镜检测过程

获取的内球面干涉条纹1

获取的内球面干涉条纹2

获取的内球面干涉条纹3

检测报告1

检测报告2

检测报告3

  检测结果：Ra分别为0.04997um，0.05237um，0.06109um