微电子器件表面的涂层有着特殊的作用，不同的涂层有不同的功能，比如：导电，绝缘，防水，电磁屏蔽等。

    此次检测到一个特殊的微电子器件的表面导电涂层，类似一根导线。具体功能尚不清楚。据用户介绍，通过专业的仪器可以测得这种涂层实际的使用效果数据，但是由于特殊性，需要将实际的测的结果结合涂层的表面轮廓建立起标准的质量管控方案，得出涂层的表面结构对最终产品效果的影响关系。

    经过分析表面涂层是可以通过白光干涉来检测，白光干涉是适合于这种表面形貌检测，并且在微米，纳米级别的厚度检测方面具有优势。

    通过检测得到表面色三维形貌图，红色部分为涂层部分。检测结果也得到了涂层的厚度为30.002um。

    检测仪器：白光干涉仪

    型        号：CR-100V

    放大倍数：100X

    物        镜：10x/0.25 Linnik干涉物镜

    像        素：300万

    软        件：白光干涉分析软件

    图 1：通过白光干涉检测获得的涂层表面的白光干涉图片

    图 2：白光干涉分析软件的运行界面

    图 3：检测报告