通常认为激光可以产生干涉,其实白光也能干涉,只不过相对于激光而言,白光产生干涉需要的条件比激光要苛刻。
激光波长单一,激光的相干长度很长。而白光是宽带光,波长涵盖可见光波段,相干长度甚至不足1μm。因此上实现白光干涉难度较大。 激光在光学成像仪器中往往有很多的散斑干涉,影响成像效果。白光干涉就不存在散斑干涉的困扰。
激光干涉通常可以用到精密测量,甚至也可以计量。但是在激光干涉应用中,难以区分零级干涉和一级干涉条纹,而白光干涉的零级条纹是唯一且能够明显识别,白光干涉仪也是以零级干涉条纹为算法所关注的对象,因此上白光干涉的测量精度远高于激光干涉测量。因此上白光干涉在芯片检测,微纳制造,高精度制造业检测应用中越来越得到应用。
白光干涉条纹强度对比图
通过对比图可以看出,使用白光干涉得到的条纹,零级干涉条纹与其它干涉条纹对比更加容易识别。激光干涉条纹不同级次强度对比相对不容易区分,如果在一些复杂面型检测时,容易造成级次误判产生误差。这也是白光干涉相对于激光干涉更容易获得更高检测精度的一个因素。 激光干涉通常在大尺寸面积范围内检测整体形貌,白光干涉偏向于在微小尺寸范围内检测微纳级三维形貌。 我们一直专注于白光干涉类物镜以及干涉检测技术的研发与应用。目前已有的干涉物镜已经在高端制造检测领域得到了应用。 白光干涉的三种结构物镜, Mirau,Linnik,Michelson干涉物镜主要应用在白光干涉检测中,使用时只需要安装在光路中,调整到图像清晰就可以观察到白光干涉条纹。配合压电陶瓷以及相应的算法可以很容易的获得表面微纳级三维形貌。 如果感兴趣,可以关注我们的公众号,或者网站www.ostaropt.cn。我们会不定期发布一些检测案例信息或者知识分享。