使用白光干涉检测系统检测多刻线粗糙度板

    本次使用CR-100V白光干涉检测仪，使用的是我们自主开发的10X Linnik物镜。

    多刻线板一般是用来作为粗糙度仪标准样板使用。所使用的多刻线板如图所示，左侧是使用粗糙度仪检测的各个参数结果。

多刻线玻璃板

    根据粗糙度仪检测的结果显示（单位：um）：

    Ra=0.07，Rq=0.077，Rp=0.143，Rv=0.108，Rz=0.251.

CR-100V白光干涉检测系统

使用的5X白光干涉物镜

    测试环境：

    CR-100V白光干涉检测系统放置的工作台为非抗震工作，工作时有外界震动的影响。

    检测时，选择三个位置作为测试区域。多刻线玻璃板基板为玻璃，反射率4%左右。
 

干涉图片

软件运行界面

第一个位置检测结果

    第一个位置检测结果（单位：um）：三维形貌的粗糙度由Sa表示，Rp,Rv,PV(RZ),Rq是针对整个图像范围内的分析。与粗糙度仪的线性方向的检测结果评价方式不同。

    Ra(X)=0.07413,Sa=0.07371,Rp=0.12098,Rv=-0.10962,PV(RZ)=0.23059,Rq=0.07553,

第二个位置检测结果

    第二个位置检测结果（单位um）：三维形貌的粗糙度由Sa表示，Rp,Rv,PV(RZ),Rq是针对整个图像范围内的分析。与粗糙度仪的线性方向的检测结果评价方式不同。

    Ra(X)=0.06898,Sa=0.06928,Rp=0.11017,Rv=-0.12273,PV(RZ)=0.23289,Rq=0.07127,

第三个位置检测结果

    第三个位置检测结果（单位um）：三维形貌的粗糙度由Sa表示，Rp,Rv,PV(RZ),Rq是针对整个图像范围内的分析。与粗糙度仪的线性方向的检测结果评价方式不同。

    Ra(X)=0.07304,Sa=0.07321,Rp=0.12245,Rv=-0.11024,PV(RZ)=0.23269,Rq=0.07509,

    由于白光干涉是对整个视场进行检测，而粗糙度仪是针对某一个线性方向的粗糙度进行检测。Sa是对整个视场的粗糙度检测，Ra(X)是对粗糙度方向上的检测。Sa可以与Ra进行比较，但是Sa比Ra精确度高。  

    分析：经过对三个位置的检测，

     (1):Ra(X)=0.07413,Sa=0.07371,Rp=0.12098,Rv=-0.10962,PV=0.23059,Rq=0.07553,

     (2):Ra(X)=0.06898,Sa=0.06928,Rp=0.11017,Rv=-0.12273,PV=0.23289,Rq=0.07127,

     (3):Ra(X)=0.07304,Sa=0.07321,Rp=0.12245,Rv=-0.1102,PV=0.23269,Rq=0.07509,

    粗糙度仪检测结果：

    Ra=0.07,Rp=0.143,Rv=0.108,Rz=0.251,Rq=0.077,

    所测得结果最大最小值范围：结果分布的误差区间。

    Ra：0.00515,Sa：0.00443,PV(Rz)：0.0023,Rq：0.00426

    与标准块对比的项目有Ra，Sa。误差为：

    (1):Ra(X)：0.00413,Sa：0.00371,   

    (2):Ra(X)：-0.00002,Sa：-0.00072,

    (3):Ra(X)：0.00304,Sa：0.00321,  

    三个点的检测结果，粗糙度Ra，Ra(X),以及Sa与标准块用粗糙度仪检测的结果相比较，误差分布在4nm误差范围内。 考虑到环境的震动影响，4nm在允许的误差范围内。