本次使用CR-100V白光干涉检测系统检测粗糙度比较块。

粗糙度比较块

     根据粗糙度仪检测的结果显示（单位：um）： Ra=0.1。由于表面有很多划痕，因此判断Ra=0.1误差比较大。

CR-100V白光干涉检测系统

使用的5X白光干涉物镜

     检测时，选择两个位置作为测试区域。

第一个位置检测结果

      第一个位置检测结果（单位：um）：三维形貌的粗糙度由Sa表示。与粗糙度仪的线性方向的检测结果评价方式不同。

      Sa=0.09995,

第二个位置检测结果

      第二个位置检测结果（单位um）：三维形貌的粗糙度由Sa表示。与粗糙度仪的线性方向的检测结果评价方式不同。

      Sa=0.10802,   

     结果：两次所测得结果0.09995um和0.10802um。粗糙度比较样块标注为0.1um。因此可以判定检测结果准确。