此次依旧是使用微纳轮廓检测系统来检测表面划伤，使用的物镜为我们研制的Mirau干涉物镜。

     镜片或者其他超光滑表面的划伤往往都很细，需要通过很高的放大倍数才能够观察到。如果能够检测到划伤的深度，将会对生产过程中工艺的改进提供帮助。或者是不同深度划伤对使用寿命造成的影响如何评定分级。

     下图是被测镜片表面划伤区域的白光干涉检测条纹，划痕造成了干涉条纹的凸起和凹陷。划伤造成的影响不仅仅是划伤本身会留下一个微小的刻槽，还会造成被刻划的边缘产生微小的形貌变化。

划伤区域干涉条纹

软件界面

分析区域轮廓截面

      从划伤区域的轮廓截面图来看，凸起的位置实际上是划伤的深度，刚好与图示方向相反。划伤的右侧有一个明显的向下的凸起，这个就是划伤边缘的形貌变化。说明划伤本身不仅仅是表面的一道划痕，还会造成周边面型的微小改变。

划伤区域深度检测报告1

       划伤区域轮廓改变造成的深度，即最大轮廓形貌改变量以及划伤的物理深度。软件检测结果为0.13139um。

划伤深度检测报告2

      划伤深度，以镜片表面为基准，划痕的深度为0.10267um。

      轮廓的微小改变量为0.13139-0.10267um=0.02872um，即28.72nm。