白光干涉的微纳级检测灵敏度这个特点，在微纳损伤的识别方面效果特别明显。比如纳米压痕的识别就是一个很好的例子。
手触摸了镜片，那么镜片的局部面型就会产生微小的变化，这个微小变化可以通过白光干涉检测到。如果是边缘遭到了磕碰，在普通显微观察情况下可能没有明显的损伤，但是利用白光干涉检测，有没有面形上的改变就很明确。 本次展示的是类似的案例，检测的同样是一个边缘磕碰的光学元件。在普通的显微物镜下观察，磕碰区域与表面域只有一条亮痕并且亮痕的上端部分为黑色没不规则线条，但是不能辨识出是断裂还是划痕。两侧面形颜色相同，看不出有有明显的区别，如下图所示。 图片中镜片的边缘有缺损，从显微图像不能判断出缺损部位对面形的影响区域有多少。
从两张图片的对比中，可以看到边缘的干涉条纹有的产生扭曲，有的完全与表面干涉条纹呈现不同的形态，说明与表面已经产生断裂。断面条纹数量较多，说明受到碰撞的区域面形改变量越大。
从图中可以看出，条纹发生扭曲的位置，虽然面形发生改变但是却没有断裂。还是受到了断裂部位的影响。如果面形发生断裂在普通显微镜下或许可以观察到断裂区域的微小裂纹，那么这种没有产生断裂但是面形发生改变的区域识别，在普通显微镜下是没办法检测到的。
图片使用我们研发的Mirau干涉物镜，使用彩色工业相机获取。
更多关于白光干涉检测的探索，我们会不定期的在公众号发表文章或者检测案例
QQ客服1