名称：微纳轮廓检测系统

其它名称：干涉显微检测系统

型号：CRWL1-10/20

仪器简介
  CRWLI系列微纳轮廓检测仪适用于科研，教学，以及工业生产的产品表面粗糙度，微小台阶，面型平整程度的检测。也可以用来检测膜层厚度，表面损伤，不良分析。
仪器特点
  1.体积小，结构紧凑
  2.操作使用方便，易学易用
  3.视频检测，便于后期图像解算
  4.使用国产化干涉物镜

  5.可检测粗糙度Ra，Rz，Rp，Rv，PV，Rms参数

  6.可检测轮廓最大高度，最小高度，以及平均高度

  7.可检测表面微纳划伤的深度
  8.可检测透射膜层物理厚度及光学厚度

  9.可检测钢球表面粗糙度

  10.内置常用镀膜材料折射率数据库，可轻松调取
  11.可模拟出被检测区域的三维轮廓效果

仪器参数
  1.物镜：Mirau干涉物镜,Linnik干涉物镜，Michelson干涉物镜
  2.光源：LED白光光源，亮度可调，中心波长560nm
  3.调焦座：同轴双速调焦，行程50mm
  4.工作台：（1）X行程+/-7.5mm，Y行程+/-7.5mm

  5.摄像头：300万像素
  6.软件：CRWLI微纳轮廓检测软件    

软件说明

   CRWLI软件是用于表面微纳级轮廓分析检测，将单张的白光干涉条纹图案导入到软件，通过相关操作，最终检测出相关参数，并且可以模拟出表面三维轮廓的状态。

  相对于白光干涉仪检测表面三维形貌而言，该软件是可以低成本实现表面单一位置的截面轮廓检测分析的有效方案。

软件用途

  1.微纳级表面损伤深度检测

  2.表面微纳台阶检测

  3.多刻线板粗糙度，刻线轮廓及深度检测

  4.微纳表面粗糙度检测Ra，Rz，Rp，Rv，PV，Rms。

  5.镀膜膜层轮廓检测

  7.钢珠表面粗糙度检测

软件特点

  1.软件特有的算法，使得表面轮廓识别能力更加准确

  2.只需要提供白光干涉条纹图片就可以检测表面轮廓相关参数

  3.可以检测表面粗糙度参数，微纳台阶及表面损伤深度的多个参数

  4.可以将检测的表面轮廓结果模拟成三维形貌，以便于分析

  5.可以使用自动或者手动计算0.5λ

  6.具有小于10nm的检测精度

  7.检测报告以word形式输出

  8.可以检测粗糙度Ra小于2um，台阶或者划伤深度不超过4um的样品

检测报告：

微纳轮廓检测仪（干涉显微检查系统）.pdf

Micro Nano Profile Detection System微纳轮廓检测仪（英文版）

检测案例：

   1.机械加工的内球面粗糙度检测

   2.钢珠表面粗糙度检测

   3.微纳轮廓检测系统检测研磨抛光表面粗糙度

   4.微纳台阶检测

   5.表面划伤深度检测

   6.多刻线板检测与计量结果对比